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NT9100光學(xué)輪廓儀是一款使用便利、性能**,性價(jià)比高的非接觸無(wú)損傷三形貌維測(cè)量?jī)x器。Wyko**的第九代系統(tǒng)采用獨(dú)有的雙LED照明光源**技術(shù),能夠更好的檢測(cè)超光滑表面及非常粗糙的表面;它的測(cè)量范圍可達(dá)亞納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的臺(tái)階高度。作為第九代白光干涉儀的桌面機(jī)臺(tái),NT 9100同樣具有大機(jī)臺(tái)才有的優(yōu)點(diǎn):簡(jiǎn)單易用的操作方式、快速數(shù)據(jù)獲取能力、強(qiáng)大的軟件功能及埃級(jí)的重現(xiàn)性等。同時(shí),可選配的X-Y自動(dòng)平臺(tái),使NT9100具有程序化處理樣品的功能。
主要特點(diǎn):
1. 非接觸測(cè)量
2. 重復(fù)性高
3. 測(cè)量精度高
縱向掃描范圍:0.1nm~1mm (標(biāo)配)
**掃描速度:24um/s
樣品臺(tái)尺寸:100mm
簡(jiǎn)單易用的操作方式、快速數(shù)據(jù)獲取能力、強(qiáng)大的軟件功能及埃級(jí)的重現(xiàn)性等。