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CVD/CVI/PECVD品牌
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設(shè)備特點(diǎn)
1. 高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，**真空可達(dá)10-4Pa；
2. 可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3. 數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；
4. 每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
5. 采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6. 管路采用世界**Swagelok卡套連接，不漏氣；
7. 超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠；
8. PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，更容易發(fā)生反應(yīng)。
設(shè)備參數(shù)
類別 | 加熱爐 | 射頻電源 | 真空系統(tǒng) | 混氣系統(tǒng) | 壓強(qiáng)控制系統(tǒng) | 尾氣處理系統(tǒng) | ||||
溫度 | 加熱區(qū) | 型式 | 管徑 | 長度 | ||||||
CVD | 1200～ 1700℃ | 220～ 440mm | 臥式、滑動式 | Φ60～ Φ100 | 600～ 1600 | 無 | 10Pa | MFC單路或多路控制 | 可選 |
（可選） |
CVI | 1200～ 1700℃ | 220～ 440mm | 立式、滑動式 | Φ60～ Φ100 | 600～ 1600 | 無 | ||||
PECVD | 1200℃ | 220～ 440mm | 臥式、滑動式 | Φ60～ Φ100 | 1200～ 1600 | 300～ 500W | ||||
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