參考價(jià)格
面議型號(hào)
APC品牌
Htc日揚(yáng)真空產(chǎn)地
上海樣本
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CF蝶閥APC控制系統(tǒng)閥
KF蝶閥APC控制系統(tǒng)閥
ISO 蝶閥APC控制系統(tǒng)閥
1. 閥
2. 處理室
3. 進(jìn)氣口
4. 壓力傳感器
5. 傳感器線
6. 控制器和執(zhí)行器
7. 連接遙控控制器
8. 連接電源線
9. 真空泵
集成整合壓力控制器
精確的壓力控制
嚴(yán)謹(jǐn)隔離
反應(yīng)時(shí)間短
友善使用接口
真空壓力控制和隔離閥門
>> SEMI - 半導(dǎo)體
>> FPD - 光電面板
>> PVD - 物理氣相沉積
>> Solar - 太陽能
壓力和位置控制模式
附表測(cè)試模式=> 1 cycle schedule
設(shè)置閥打開/關(guān)閉速度
記錄APC HW/SW 版本, 序列號(hào)和型號(hào)
記錄閥門循環(huán)和運(yùn)行時(shí)間
設(shè)置公差范圍的壓力
循環(huán)壽命和壓力控制記錄
控制器參數(shù)上傳和下載
斷電保護(hù)功能
屏幕截圖
壓力學(xué)習(xí)功能
暫無數(shù)據(jù)!