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ISO-B TYPE 氣動蝶閥
ISO-KF TYPE 氣動蝶閥
ISO-K TYPE 氣動蝶閥
A : Pump
B : Htc pneumatic butterfly valve
C : Process chamber
D : Gauge
E : Gas inlet
產(chǎn)品應(yīng)用
Htc氣動高真空蝶閥是采用旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動的真空蝶閥，密封板搭配O-ring的設(shè)計，可完全隔絕真空側(cè)與大氣側(cè)，具有快速開閉、安裝快速、尺寸小，壽命長等優(yōu)點。
Htc氣動蝶閥的密封設(shè)計，可應(yīng)用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。蝶閥閥門安裝于真空幫浦(pump)與制程腔室（process chamber）間。
設(shè)計特征
? 旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動，快速開啟關(guān)閉
? O-ring完成氣密設(shè)計
? 密封板位置指示器
? 任意安裝方向
? 高氣導(dǎo)
? 150萬周期壽命
產(chǎn)品分類
? KF25 / KF40 / KF50
? ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250
Body / P late / Shaft 材質(zhì)
不銹鋼 (Stainless steel)
保固條件
暫無數(shù)據(jù)！
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