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電弧石英坩堝
ARC Quartz Crucibles
用電弧法生產(chǎn)的乳白石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。它具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。我公司還可以生產(chǎn)各種尺寸的透明和半透明材質(zhì)的石英坩堝。這些產(chǎn)品可以根據(jù)應(yīng)用范圍按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格生產(chǎn)，也可以按您要求定做非標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的坩堝。
Opaque quartz crucible of arc melting usedfor semiconductor industry is the essential basic material for pullingmonocrystalline silicon and developing L S I circuit. It has the advantages ofhigh purity, high temperature resistance with big size, good thermalinsulation, economization on energy, quality stability etc. We also can producevarious specifications of transparent and translucent crucibles. Cruciblescan be produced according to the standard or produced on customer’s required specification and shape.
化學(xué)成分分析
Chemical element composition
型號(hào)/Type | Al | Fe | Ca | Cu | K | Na | Li | B | OH |
EAST-A | 20 | 1 | 1.5 | 0.1 | 3 | 3 | 3 | 0.3 | 30 |
EAST-B | 15 | 0.3 | 0.6 | 0.05 | 0.7 | 1.0 | 0.7 | <0.1 | 30 |
坩堝規(guī)格尺寸
Crucible Dimensions
坩堝尺寸 Dimensions | 外徑 OD | 高度 Height | 厚度(WT) | R | r | ||
T1 | T2 | T3 | |||||
8" | 203±03 | 153±3 | 5.5±1.5 | 3 | 8.5 | 305 | 30 |
10" | 254±2 | 178±3 | 6.0±1.5 | 3.5 | 9 | 305 | 70 |
12" | 305±2 | 228±3 | 6.5±1.5 | 4 | 9.5 | 305 | 80 |
14" | 355±2 | 254±3 | 7.5±1.5 | 5 | 10.5 | 400 | 90 |
16" | 404±2 | 305±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 400 | 90 |
18" | 457±2 | 355±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 500 | 120 |
20" | 508±4 | 381±3 | 10±3 | 6 | 11.0 | 500 | 120 |
22" | 558±4.5 | 381±3 | 10±3 | 7 | 11.0 | 558 | 89 |
24" | 610±4.5 | 381±3 | 12±3 | 12±3 | 12±3 | 610 | 130 |
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