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石英坩堝,具備高純、耐熱性強、規(guī)格大高精度、隔熱保溫性好、節(jié)約資源、品質(zhì)平穩(wěn)等優(yōu)勢,運用愈來愈普遍。石英坩堝的檢驗工作中是一個十分關(guān)鍵的階段,并且石英坩堝的檢驗房屋朝向當場檢驗方位發(fā)展趨勢!
1.石英坩堝可在1450度下列應(yīng)用,分全透明和不全透明二種。用電孤法紀的透明色石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展趨勢規(guī)模性集成電路芯片不可或缺的基本原材料。現(xiàn)如今,全球半導(dǎo)體材料工業(yè)生產(chǎn)資本主義國家已用此坩堝替代了小的全透明石英坩堝。他具備高純、耐熱性強、規(guī)格大高精度、隔熱保溫性好、節(jié)約資源、品質(zhì)平穩(wěn)等優(yōu)勢。
2、不可以和HF觸碰,高溫時,非常容易和苛性堿及堿土金屬的硫化物功效。
3.石英坩堝適合用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔化試品和用Na2S207(先在212度風(fēng)干)作熔劑解決試品。
4.石英石質(zhì)脆,易破,應(yīng)用時要留意。
5.除HF外,一般稀強氧化劑可作為清潔液。中國常見拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也是有生產(chǎn)廠家應(yīng)用22及之上的坩堝?,F(xiàn)階段中國坩堝生產(chǎn)制造大廠家生產(chǎn)的坩堝技術(shù)性都較為完善。其生產(chǎn)制造應(yīng)用原材料石英砂由美國品牌和丹麥高純度石英砂二種。也是有小型加工廠應(yīng)用國內(nèi)料其原材料生產(chǎn)制造的石英坩堝對拉制單晶硅時其可靠性都是有一定危害。
現(xiàn)階段坩堝生產(chǎn)制造鍍層技術(shù)性已被大部分生產(chǎn)廠家應(yīng)用便是在一般石英砂溶制的坩堝表層涂上一層二氧化鋇水溶液使其產(chǎn)生高密度層,其高密度層能阻攔單晶硅高溫拉制全過程中硅與石英坩堝反映提升成晶率。
高純度石英砂→高純石墨磨具→真空泵放料成形→真空泵電孤熔制→當然制冷出?!③釄寤緳z驗→冷拉噴砂處理、斷開、倒圓角→石英坩堝二次檢驗→潔凈清理、超聲波、髙壓自噴、全自動風(fēng)干。升溫烤制,噴漆→石英坩堝三次檢測→真空包裝袋→制成品進庫
石英坩堝的應(yīng)用及維護保養(yǎng):
石英坩堝關(guān)鍵成分是二氧化硅,除鹽酸外不與其他酸功效,易與苛性堿及堿土金屬硫化物功效。
石英坩堝對熱的可靠性非常好,可立即放到火苗上加溫
石英坩堝和玻璃容器一樣,非常容易粉碎,應(yīng)用時要非常當心
用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212℃風(fēng)干)等做為熔劑,熔化溫度不能超出800℃。
暫無數(shù)據(jù)!