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擴散氧化爐
擴散氧化爐

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湖南爍科熱工智能裝備有限公司

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擴散氧化爐

 擴散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金和燒結(jié)等工藝。水平管式爐的設(shè)計考慮了硅片生產(chǎn)的多種工藝性能需要,具有**生產(chǎn)能力和優(yōu)越的性能指標(biāo)。

 采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;
  關(guān)鍵部件均采用進口,確保設(shè)備的高可靠性;
  具有友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);
  具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
  具有多種報警功能及安全保護功能;
  具有強大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;
  恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度。

適用晶片尺寸: 2~8英寸圓片
  工作溫度: 600℃~1300℃;
  可配工藝管數(shù)量: 1~4管/臺
  恒溫區(qū)長度及精度:≤±0.5℃/300~800mm (800℃~1300℃),
  單點溫度穩(wěn)定性:≤±0.5℃℃ /24h (1100℃);
  溫度斜變能力:**升溫速率:20℃/min,**降溫速率:5℃/min;
  具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能;
  可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。

用于半導(dǎo)體器件、集成電路制造過程中擴散、氧化、退火及合金工藝。

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10分

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