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離子泵
離子泵

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型號(hào)

離子泵

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愛(ài)德華真空

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也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵,是使用陽(yáng)極/陰極陣列來(lái)電離氣體的捕集泵。離子濺射反應(yīng)性陰極材料,產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),將電離氣體轉(zhuǎn)化為固體化合物。這些化合物不再對(duì)真空系統(tǒng)的壓力產(chǎn)生影響,并被**地封存在離子泵內(nèi)。離子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范圍內(nèi)運(yùn)行,氮?dú)獬槿∷俣确秶鸀?0.2 至 1200 l/s。

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