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   干式螺桿真空泵是由一對(duì)平行的螺旋狀轉(zhuǎn)子與泵體組成的一個(gè)工作室，經(jīng)五軸聯(lián)動(dòng)復(fù)合加工中心加工的二個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子之間及其與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了多個(gè)密封腔，轉(zhuǎn)子通過同比齒輪在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，將各密封腔內(nèi)的氣體從進(jìn)氣端不斷地推向排氣端，而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
        螺桿泵工作腔為間隙密封，無潤滑油，是環(huán)保型真空設(shè)備，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，極限真空高，消耗功率低，具有節(jié)能、降耗免維修等優(yōu)點(diǎn)，特別在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對(duì)溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)越性。
        螺桿真空泵是傳統(tǒng)水環(huán)真空泵、水噴射真空泵、往復(fù)真空泵、滑閥真空泵、旋片式真空泵等真空泵的替代產(chǎn)品，該產(chǎn)品的升級(jí)換代可有效消除醫(yī)藥化工行業(yè)真空流程的污水排放，有利尾氣溶劑回收，也可有效降低滑閥真空泵、旋片式真空泵的油蒸汽污染，降低設(shè)備維護(hù)成本。

螺桿真空泵性能特點(diǎn)
1.工作腔內(nèi)無潤滑油存在，可獲得清潔真空
2.工作腔內(nèi)無油氣污染被抽氣體，工藝性氣體回收利用率高，尾氣處理方便；同時(shí)也避免了油氣和油煙等的排放，環(huán)境污染小。
3.工作腔內(nèi)無潤滑油存在，避免了因潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，同時(shí)減少了泵潤滑油的損耗。
4.泵適用范圍廣。泵工作腔及螺旋轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工況；
5.泵腔為間隙密封結(jié)構(gòu)，對(duì)少量小顆粒粉塵不敏感，且泵腔直通，無中隔板結(jié)構(gòu)，粉塵不易在泵腔內(nèi)沉積；采用防爆配置時(shí)可用于抽除易燃易爆的氣體。
6.泵工作時(shí)泵腔內(nèi)溫度可達(dá)到100℃以上，使可凝性氣不易冷凝，且泵腔內(nèi)為直通結(jié)構(gòu)，排氣口在泵腔底部，泵腔內(nèi)的雜物容易排出，因此適宜抽取可凝性氣體。
7.泵可單獨(dú)使用，或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機(jī)組，作為機(jī)組的前級(jí)泵使用。單泵進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作，抽氣效率高，可大大簡化抽真空系統(tǒng)。
8.螺桿泵工作時(shí)需保持較高溫度，且泵工作時(shí)外表面自然散熱的效率相對(duì)提高，且冷卻水與泵體溫差大，冷卻效果好，因此泵冷卻水用量少，對(duì)冷卻水的溫度要求低。
9.獨(dú)有的以螺旋方式將多級(jí)轉(zhuǎn)子直接串聯(lián)，聯(lián)消了中隔板結(jié)構(gòu)，無中間級(jí)吸排氣過程，工作過程簡單、連續(xù)，效率高，泵運(yùn)行穩(wěn)定性高。
10.泵腔內(nèi)各零件采用間隙密封，零件間無接觸摩擦存在，零件損耗小，壽命長；同時(shí)泵轉(zhuǎn)速高，整機(jī)體積小。
11.螺桿泵結(jié)構(gòu)簡單，零件種類、數(shù)量少，維護(hù)方便。
12.啟動(dòng)快，啟動(dòng)電流小，啟動(dòng)時(shí)對(duì)電網(wǎng)的沖擊小，啟動(dòng)后泵即達(dá)正常抽速。