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干式真空泵
干式真空泵

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型號

干式真空泵

品牌

干式真空泵

產(chǎn)地

山東

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暫無
淄博干式真空泵設(shè)備有限公司

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干式真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
    干式真空泵應(yīng)用范圍
      1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
  4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
  5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
     干式真空泵組裝注意事項
   1.在干式真空泵軸即轉(zhuǎn)子軸設(shè)備之前,有必要來確定它是否彎曲或者是變形的;
  2.轉(zhuǎn)子平衡狀況是不是符合標準的;
  3.葉片和轉(zhuǎn)子之間的合作開放空間;
  4.是否需要多次密封緩沖補償裝置的緊固量;
  5.干式真空泵泵轉(zhuǎn)子與軸承位置的同心度是否滿足要求;
  6.調(diào)整軸承和端蓋之間的開放空間;
  7.調(diào)整密封部分的開放空間;
  8.聯(lián)軸器的同軸度是否符合要求。

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