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HORIBA在線橢偏儀 In-situ series
HORIBA在線橢偏儀 In-situ series

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型號

In-situ series

品牌

HORIBA

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
HORIBA科學儀器事業(yè)部

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第18年

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核心參數(shù)
  • 誤差率:

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  • 分辨率:

    -
  • 重現(xiàn)性:

    -
  • 儀器原理:

    其他
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    -
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    -
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    -
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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學常數(shù)(n,k)變化。
 
技術參數(shù):
·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化
 
主要特點:
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設備,可實現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分

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10分

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10分

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10分
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