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小型等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

·產(chǎn)品體積小，精度高，實(shí)用，操作簡(jiǎn)單，容易維護(hù)。

·寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，可以使用多種工藝氣體，實(shí)現(xiàn)**范圍的參數(shù)選擇，

·采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng)，特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)領(lǐng)域的需求。

·內(nèi)置兩路氣路，氣體流量可調(diào)，無(wú)需再搭配氣體混合儀

·**軟件、操作簡(jiǎn)易，智能化設(shè)計(jì)，避免誤操作

·采用數(shù)字顯示壓力，實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化情況

·中英文操作系統(tǒng)，觸摸屏控制，人機(jī)界面友好 電流、電壓實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行

·清洗時(shí)長(zhǎng)可在觸摸屏設(shè)置，等離子處理時(shí)間精確到秒(s)

·清洗功率0-100%無(wú)極可調(diào)

316不銹鋼腔體，低溫，不損傷樣品，腔體內(nèi)溫度小于60

小型等離子清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用:

·引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。

●用于去除碳?xì)浠衔镂廴疚锏?TEM 和 SEM 樣品清洗。

等離子處理親水或疏水表面潤(rùn)濕性，

●表面處理以提高環(huán)氧樹(shù)脂/膠水的粘合強(qiáng)度。

·用于光學(xué)，激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。

.提高 MEMS 微流體器件的潤(rùn)濕性。

●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。