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8-12寸硅舟
8-12寸硅舟

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

8-12寸硅舟

品牌

盾源聚芯

產(chǎn)地

寧夏

樣本

暫無(wú)
寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司

會(huì)員

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第2年

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采用**Si-Fusion**,可實(shí)現(xiàn)硅與硅之間的熔接,各部件熔接形成的硅舟可應(yīng)用在1100-1200℃的高溫處理工藝和CVD-Poly沉積工藝。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1.可進(jìn)行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計(jì),包括溝棒形狀,溝齒長(zhǎng)度、形狀、傾斜角度,以及硅舟的總載片量。


2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,提升制程良率。


3.熔接硅舟可以對(duì)損壞部件進(jìn)行更換,降低持有成本。


4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,可以有效減少設(shè)備PM頻率,提升產(chǎn)能。


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10分

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10分

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