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英國(guó)Hiden公司的ExQ定量氣體分析質(zhì)譜儀是為在常壓附近連續(xù)分析氣體/蒸氣而設(shè)計(jì)。多樣化的進(jìn)樣口配件可進(jìn)行從低壓1mbar到高壓30bar的取樣分析。Hiden標(biāo)準(zhǔn)配置的QIC惰性石英進(jìn)樣毛細(xì)管可加熱至200℃，取樣壓力范圍 100mbar至2bar。進(jìn)樣毛細(xì)管長(zhǎng)度2米韌性良好，對(duì)于一般的氣體/蒸氣（包括水、有機(jī)蒸氣）響應(yīng)速度少于300 ms。由于樣品接觸面僅限于石英和金屬鉑，保持了**的樣品完整性。EXQ系統(tǒng)質(zhì)量數(shù)范圍是200amu(300amu可選)，并具有從100%到小于100ppb的檢測(cè)能力。EXQ配有兩款專業(yè)的質(zhì)譜儀。

*操作軟件

1.QGA專業(yè)版定量氣體分析軟件提供了多達(dá)32種氣體定量分析的簡(jiǎn)化用戶界面。氣體/蒸氣譜分析計(jì)算并自動(dòng)扣除重疊譜，譜圖模擬器動(dòng)態(tài)快速顯示用戶控制的變化，主要、次要?dú)怏w組成的校準(zhǔn)和本底校正。

2.MASsoft7專業(yè)版操作軟件：是一個(gè)全面的質(zhì)譜操作控制和數(shù)據(jù)采集的**化程序。

*標(biāo)準(zhǔn)特征

1.定量數(shù)據(jù)輸出：ppm，ppb；

2.氣體濃度變化時(shí)響應(yīng)時(shí)間<300毫秒；

3.快速掃描500amu/秒的瞬態(tài)分析；

4.自動(dòng)扣除重疊峰；

5.具有軟離子化技術(shù)；

6.提供兩組外部參數(shù)顯示信號(hào)；

7.離子源壽命長(zhǎng)、防污染；

8.可選配與 TGA、GPC、IR 的接口；

9.氣體/蒸氣質(zhì)譜數(shù)據(jù)庫(kù)具有對(duì)碎片峰智能掃描并精確記錄的功能；

*MASsoft 操作軟件

1.可以實(shí)時(shí)記錄、顯示實(shí)驗(yàn)過(guò)程和實(shí)驗(yàn)參數(shù)；

2.定量數(shù)據(jù)分析：1)自動(dòng)將測(cè)量濃度與參考?xì)怏w進(jìn)行對(duì)比、評(píng)估 2)所有數(shù)據(jù)總和與100%水平對(duì)比。計(jì)算包括相對(duì)靈敏度和氣體的校正參數(shù)。3)矩陣倒置算法：質(zhì)譜數(shù)據(jù)反褶積進(jìn)行精確地濃度分析；

3.具有動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換能力DDE，將數(shù)據(jù)輸出到其他格式，如EXCEL；

4.軟離子化技術(shù)：改變離子化電壓，選擇性分辨復(fù)雜氣體和蒸氣中成份；

5.離子源控制：1)電子能量掃描：0～150ev 2)離子源離子能量掃描：0～10ev 3)發(fā)射電流掃描：20μA～2mA；

6.與計(jì)算機(jī)連接方式：RS232，或 Ethernet LAN(以太網(wǎng)接口)USB；

*技術(shù)規(guī)格

1.質(zhì)量數(shù)范圍： 1～200amu(標(biāo)準(zhǔn)配置); 1-300amu 可選氣體取樣管： a）2米長(zhǎng)，內(nèi)置石英玻璃毛細(xì)管，外部為不銹鋼套，柔韌，彎曲方便 b）加熱溫度至 200℃ c）300毫秒內(nèi)對(duì)于氣體濃度的變化做出反映取樣流量(氣體消耗量)：1～20sccm，可調(diào)節(jié)取樣壓力：100mbar～2bar *小檢測(cè)分壓：

1×10^－11mbar 法拉第杯檢測(cè)器 5×10－14mbar 電子倍增器

2.檢測(cè)極限：0.1～1ppm 快速掃描速度：100amu/s *小掃描步階：0.01amu 測(cè)量通道：200個(gè)，MID模式系統(tǒng)重量：63Kg

3.電源要求：110/220/240，50/60Hz <1.0 KVA