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新一體化鎢燈絲掃描電鏡 Axia ChemiSEM，該儀器將微區(qū)成分分析與電鏡成像集成在同一平臺上，快速提供所需微觀形貌及實時成分信息，幫助學術和工業(yè)用戶快速獲得全面、可靠的數(shù)據(jù)，準確執(zhí)行故障分析和缺陷檢測。

Axia ChemiSEM 主要技術參數(shù)及特點：

•通用型 SEM 系統(tǒng)，可涵蓋多種類型樣品?？煞治鼋^緣材料、處理大而重（達10 kg）的樣品，同時能夠分析常規(guī)的小尺寸樣品。

•靈活性 SEM 系統(tǒng)，支持各類功能附件。

•使用便捷，不依賴于用戶操作水平、能夠便捷提供元素或化學信息。

•高度自動化，自動對中技術確保系統(tǒng)始終處于**工作狀態(tài)，用戶指南及撤銷功能幫助用戶更輕松操作系統(tǒng)。

•處理效率**：實時定量成分分析成像，更快獲得定量分析數(shù)據(jù)。

•分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV