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SNE-4500P型掃描電鏡是韓國(guó)SEC公司研制的高分辨、自動(dòng)化、經(jīng)濟(jì)的高性能Mini-SEM,具備與大型掃描電鏡同等的分辨率,為SNE-4500M的升級(jí)版本。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理,放大倍率高達(dá)10萬(wàn)倍;裝載易于使用的可變光闌,可達(dá)到5nm圖像分辨率,是臺(tái)式電鏡中分辨率**的設(shè)備;使用多種探測(cè)器,可得到表面形貌信息成像(SE)與材料信息成像(BSE)結(jié)果,適用于質(zhì)量管理、研發(fā)、教育等目的;作為**一款5軸載臺(tái)的Mini-SEM, 能同時(shí)運(yùn)用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動(dòng)樣品進(jìn)行全方位分析;機(jī)動(dòng)載臺(tái)的“點(diǎn)擊&移動(dòng)”特性可使圖像獲取更為便捷;能在雙視圖模式下同時(shí)對(duì)SE/BSE圖像進(jìn)行查看與存檔。
技術(shù)參數(shù):
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次電子成像) 8nm(30kV, 背散射電子成像)) |
放大倍率 | 20x~150,000X | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30~6step) | |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器(SE) 背散射電子探測(cè)器(BSE) | |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 偏壓系統(tǒng)—自動(dòng)偏壓系統(tǒng) | |
載臺(tái)系統(tǒng) | 載臺(tái)運(yùn)動(dòng) | 5軸系統(tǒng) (電動(dòng)式) X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360° Z-軸: 0~40mm Tilt-軸: -15~90° X,Y軸偏移(Max.150μm) |
**樣品尺寸 | 80mm(Φ)*40mm(H) | |
成像系統(tǒng) | 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散,自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)比與亮度 |
圖像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
相機(jī)格式 | CCD相機(jī) | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高/低真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵(全自動(dòng)) | |
尺寸與重量 | 主機(jī) | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
暫無(wú)數(shù)據(jù)!