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STP-iXA2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)**的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的STP-iXA2205系列的**技術(shù)）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
用途
· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
· 電子回旋共振(ECR)刻蝕
· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源，射束線泵送和站
功能與優(yōu)勢(shì)
· 緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器
· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)
· 數(shù)字化5軸控制
· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%
· 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭尺寸 | ISO250F/VG250/ICF305 |
前級(jí)抽氣口尺寸 | KF40 |
抽速N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
壓縮比N2/H2 | >108/ 1 x 104 |
極限壓力 | 10-7Pa (10-9Torr) |
允許的前級(jí)壓力 | 266 Pa (2 Torr) |
**氣流N2*（僅水冷） | 3000 sccm |
(5.07 Pam3s-1) | |
**氣流Ar *（僅水冷） | 1400 sccm |
(2.36 Pam3s-1) | |
額定速度 | 27000 rpm |
運(yùn)轉(zhuǎn)到90%額定速度的時(shí)間 | <8分鐘 |
固定位置 | 任何方向 |
輸入電壓 | 200-240 V |
**輸入功率（不帶TMS） | 1200 VA |
重量 | 62 kg |
***氣流適用于在15-25 °C之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送N2或Ar氣體，并且使用前級(jí)泵（10，000 l/min大小）的情況。它會(huì)隨條件變化而變化。
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