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Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D
圖片
簡介
SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統(tǒng)，被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩，可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業(yè)級伺服馬達和PLC控制，7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可進行程控操作，具有優(yōu)異的性價比。
規(guī)格參數(shù)
項目 | 參數(shù) |
基板zui大直徑 | 8英寸 |
轉(zhuǎn)速 | 0~10000RPM可調(diào) |
轉(zhuǎn)速控制精度 | 1RPM |
加速度 | 10-50000RPM/S（空載） |
程序 | 可編程100組100步程序 |
運轉(zhuǎn)zui大時長 | 3000S |
時間設置精度 | 0.1S |
顯示 | 7”全彩觸摸屏 |
機體材料 | HDPE內(nèi)腔，SUS外殼，耐溶劑PC透明蓋 |
功能圖解
SC100D 外形尺寸
應用系統(tǒng)
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
暫無數(shù)據(jù)！
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移動端
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