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探針式表面輪廓儀DektakXT
探針式表面輪廓儀DektakXT

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美國

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布魯克納米表面儀器部(Bruker Nano Surfaces)

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布魯克 DektakXT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項創(chuàng)新性的設計,可以提供更高的重復性和分辨率,測量重復性可以達到5Å。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的頂峰,更加鞏固了其行業(yè)**地位。不論應用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量,通過在研究工作中的廣泛使用,DektakXT一定能夠做到功能更強大,操作更簡易,檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,從而可以廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領(lǐng)域。

DektakXT **設計
探針系統(tǒng)的評價體系受三個因素影響:能否重復測量,數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢,操作的難易程度。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和**軟件來實現(xiàn)可重復、時間短、易操作這三個必要因素,達到**的儀器使用效果。
強化操作的可重復性 Delivering Repeatable Measurements
DektakXT在設計上的幾個提高,使其在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),臺階高度重復性可以到達5Å.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時,Bruker還對儀器的智能化電子器件進行完善,提高其穩(wěn)定性,降低溫度變化對它的影響,并采用先進的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到*低,DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實現(xiàn)對高度小于10nm的臺階的掃描。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用,大大降低了掃描臺的噪音,增強了穩(wěn)定性,使其成為一個**競爭力的臺階儀(表面輪廓儀)。
提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用獨特的直接掃描平臺,DektakXT通過減少從得到原始數(shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時間,來提高掃描效率。這一改進,大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復性的前提下,可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數(shù)據(jù)分析處理效率。Vision64還具有***直觀的用戶界面,簡化了實驗操作設置,可以自動完成多掃描模式,使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。

完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis

與DektakXT的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上*實用簡潔的用戶界面,具備智能結(jié)構(gòu),可視化的使用流程,以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

DektakXT 技術(shù)參數(shù)

—臺階高度重復性5Å
—Single-arch設計大大提高了掃描穩(wěn)定性
—前置敏化器件,降低了噪音對測量的干擾
—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%
—64-bit,這一Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍。
功能**,操作簡易
—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行
—針尖自動校準系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事
臺階儀(表面輪廓儀)領(lǐng)域無可撼動的****地位
—布魯克的臺階儀,體積輕巧,功能強大。

—單傳感器設計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍

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