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GC8800系列
高純氣雜質PDHID分析
高純氦雜質分析
H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 *小檢測量優(yōu)于 20ppb
高純二氧化碳雜質分析
H2，O2，Ar，N2，CH4 *小檢測量優(yōu)于 20ppb
高純氫雜質分析
N2，H2，CH4，CO2，CO*小檢測量優(yōu)于 20ppb
下列儀器關鍵部件均由美國VICI等公司進口
PDHID檢測器
氦氣純化器
流路系統
樣品過濾器
色譜柱
GC8802
SF6雜質單柱PDHID分析
色譜儀
分析SF6中CO，CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8
GC8803
含氟氣體分析專用色譜
一次進樣后完成全分析
檢測器：高靈敏度、耐腐蝕的TCD
進樣：VICI自動采樣閥技術
采樣：無死體積采樣或在線采樣
方式，一次性完成常見雜質檢測。
重復性：RSD≤1％。
檢出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm
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工商已核實
