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中科院勻膠機旋涂儀涂膠機KW-4T片托吸盤
中科院勻膠機旋涂儀涂膠機KW-4T片托吸盤

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北京

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北京通世華港設(shè)備有限公司

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技術(shù)參數(shù)及要求:

基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圓片,ZUI大100×100mm2 方片

轉(zhuǎn)速:250-9000RPM

旋涂設(shè)置:任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<±1%

旋涂均勻性:<1%

旋涂工藝階段:6 段

旋涂時間:單步工藝0-1800s,可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)

整機尺寸(長寬高):210mm×280mm×248mm

裸機尺寸(長寬高):210mm×280mm×155mm

電機功率:40W

適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

配套無油真空泵參數(shù):

型號:KW-550A/KW-550T

抽速:1.5 升/秒

功率:320W

噪音:50db

ZUI低真空度:-700mmHg

重量:7.3Kg

尺寸(長寬高):240mm×160mm×230mm

抽氣速率:>60L/min

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