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URE-2000/600紫外單面光刻機(jī)
URE-2000/600紫外單面光刻機(jī)

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四川

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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URE-2000/600 紫外單面光刻機(jī)

1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo):

(1)光束口徑: 650mm×650mm

(2)有效曝光面積:600mm×600mm

(3)分辨力:≤3μm

(4)對準(zhǔn)精度: ±1.5μm

(5)對準(zhǔn)顯微鏡中心距:75mm-600mm 可調(diào)

(6)掩模尺寸:650mm×650mm

(7)樣片尺寸:可適應(yīng)Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm,厚度為 0.2mm~20mm 的多種規(guī)格樣片;

(8)光源不均勻性:≥ 95%(Ф600mm)

(9)掩模相對于樣片運(yùn)動行程:X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z:15mm Thelta: ± 10o

(10)曝光面光強(qiáng):>15mW/cm2(i、g、h 線)

(11)汞燈功率:2500W(直流)

(12)曝光量設(shè)定方式:定時(計時方式 0.1s-9999.9s,設(shè)定精度 0.1s)

2.技術(shù)主要組成部分

大面積精細(xì)膠模圖形結(jié)構(gòu)成型機(jī)組成主要由:高均勻照明曝光系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)、計算機(jī)控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助設(shè)備構(gòu)成。各系統(tǒng)構(gòu)成與配置

如下:

(1)高均勻照明系統(tǒng)包括:

。 冷光橢球鏡;

。2500W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺;

。 光學(xué)系統(tǒng):橢球反射鏡、光欄、快門、平面冷光反射鏡 1、平面冷光反射鏡 2、蠅眼透鏡組、拋物面冷光反射鏡;

。 冷卻風(fēng)扇;

。 循環(huán)水冷系統(tǒng)。

(2)對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括:

。掩模樣片相對運(yùn)動臺;

。 轉(zhuǎn)動臺;

。 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成;

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),自動調(diào)整;

。承片臺 10 個:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm;

。 掩模夾 1 個:650mm×650mm;

。 抽拉式上下片機(jī)構(gòu)。

(3)CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)包括:

。 光源、電源;

。 顯微鏡工作臺;

。 成像光學(xué)系統(tǒng)(兩套);

。 數(shù)據(jù)采集卡;

。 CCD 圖像處理部件(兩套)。

(4)電控系統(tǒng)包括:

。 大功率汞燈觸發(fā)電源;

。單片機(jī)控制系統(tǒng);

。 薄膜開關(guān)面板;

。 控制柜桌;

(5)氣動系統(tǒng)包括:

。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等;

3 。電磁閥驅(qū)動部件;

。 氣動顯示儀表。

(6)其他配套附件

。 真空泵一臺(無油泵、SK-65C 型);

。 空壓機(jī)一臺(靜音型、YB-W30 型);

。水冷機(jī)一臺(H35W 型);

。 配套接口管道

3.相關(guān)技術(shù)資料:

。設(shè)備使用及維護(hù)說明書

。出廠檢驗合格證。

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