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技術(shù)信息：

BT150

新型設(shè)計(jì)的HHV BT150和BT300是面向電鏡工作者及科學(xué)研究者需求的經(jīng)濟(jì)型臺(tái)式鍍膜系統(tǒng)。BT150己具有電鏡工作者所需

的全面鍍膜能力， 而BT300配置了更大的真空腔室， 可滿足更廣泛的其他常規(guī)科研鍍膜應(yīng)用。

通常情況下， 這些系統(tǒng)采用金屬濺射來制備SEM樣品， 而采用碳纖維（或碳棒）蒸發(fā)來制備TEM樣品。碳蒸發(fā)鍍膜也可以用

于×射線微區(qū)分析的樣品。

BT系列系統(tǒng)還可配置成適合于常規(guī)科學(xué)研究需求的金屬濺射及金屬蒸發(fā)能力。

具有自動(dòng)樣晶鍍膜能力的觸摸屏操控系統(tǒng)

為了使用方便， 這兩款BT設(shè)備都配置了彩色的、 高分辨率的觸摸屏操控系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)可存儲(chǔ)多達(dá)30個(gè)工藝配方程序， 可隨

時(shí)調(diào)用執(zhí)行?？刂葡到y(tǒng)能向外輸出工藝數(shù)據(jù) 便于存儲(chǔ)及分析。它還能自動(dòng)識(shí)別所安裝的工藝附件。

種類繁多的可選樣晶臺(tái)

BT系列設(shè)備具有多種樣品臺(tái)可供選擇。用于承載SEM樣品座的靜態(tài)樣品臺(tái)具有水冷功能， 可防止樣品過熱， 而且還含有濺射

刻蝕及清洗的裝置。使用刻蝕裝置可以提高某些樣品的圖像對(duì)比度， 而不太脆弱的樣品還能通過刻蝕來去除吸附的水汽， 從而改善薄膜附著力。

BT150可選擇旋轉(zhuǎn)甚至行星運(yùn)動(dòng)式設(shè)計(jì)的樣品臺(tái)， **基片尺寸可達(dá)4英寸或者100mm。而BT300也可選擇類似的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，其**基片尺寸可達(dá)8英寸或者200mm， 滿足更廣泛的研究需要。

集成的薄膜厚度測(cè)量?jī)x

BT系列設(shè)備的選項(xiàng)中包括全集成式的薄膜厚度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成在觸摸屏控制器內(nèi)， 可提供濺射膜厚的控制。

簡(jiǎn)單的靶材更換

BT150和BT300采用簡(jiǎn)單快速的靶材更換設(shè)計(jì)， 在必要時(shí)可對(duì)樣品進(jìn)行不同材料的鍍膜。配置旋片泵的系統(tǒng)可以濺射惰性金屬，如金、 金／tE、 鈾和銅。增加可選的分子泵之后， 這兩款系統(tǒng)還能濺射容易氧化的金屬， 比如鋁。