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美TED PELLA自動離子濺射儀108AUTO
美TED PELLA自動離子濺射儀108AUTO

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美國

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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美TED PELLA 自動離子濺射儀 108AUTO

108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

· 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和很佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

· 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

· 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

· 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程??赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,

· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。

· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。

· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。

· 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)

樣品室大小

直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")

靶材

Au 靶為標(biāo)配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?7mmx 0.1mm厚

樣品臺

可以裝載12個SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm

濺射控制

微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),zui大電流40mA,程序化數(shù)字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩

模擬計量

真空:Atm - 0.001mbar

厚度監(jiān)控

(選件)

使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動終止濺射過程

控制方法

自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時器(0-300s),自動放氣

桌上系統(tǒng)

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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易用性

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性價比

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