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德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī)

型號(hào)：IoN 100WB-40Q等離子去膠機(jī)

IoN 100WB-40Q是我們**推出的具有高性價(jià)比的真空等離子去膠設(shè)備。它來(lái)源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延續(xù)了同樣的高品質(zhì)保障，包括可選壓力控制器、光譜終點(diǎn)檢測(cè)器等豐富配置選擇。

IoN 100WB-40Q配備了一個(gè)圓筒石英腔，特別適用于半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應(yīng)用的批次處理。

IoN 100 WB旨在滿足客戶的生產(chǎn)需求，著重于表面處理的多功能性和可控性。其先進(jìn)的性能提供了出色的工藝控制、失效報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域嚴(yán)格的程序控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，采用射頻（RF）頻率激發(fā)等離子體。

先進(jìn)的功能特性：

● 低微粒石英腔體

● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）

● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

● 工藝員、操作元、維護(hù)員訪問(wèn)權(quán)限控制

● 自診斷功能和警報(bào)記錄功能，聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

● 以太網(wǎng)遠(yuǎn)程控制功能

● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

● 可隔墻安裝

● 可選配光譜終點(diǎn)檢測(cè)功能

規(guī)格參數(shù)

工作腔室材料 石英

腔門材質(zhì) 鋁（標(biāo)配）

腔體尺寸 直徑304 mm，深508mm

**可處理晶圓尺寸 8”

**處理量 50片6”

裝料方式 手動(dòng)

工藝氣體質(zhì)量流量控制計(jì) *多至6路氣體

工藝壓力 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)

抽真空時(shí)間 大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源 風(fēng)冷13.56MHz，600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)

供給需求電源　　　　　 220V 單相， 50Hz

工藝氣體 輸入壓力 1-2 bar

吹掃氣體 輸入壓力 1-2 bar

壓縮空氣 輸入壓力 4-6 bar

機(jī)體

● 獨(dú)立的機(jī)體帶有所有電源和氣體接口

● 帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)身

設(shè)備尺寸

標(biāo)準(zhǔn)尺寸 1067 x 737 x 1524 mm（寬/高/深，不含泵）

重量 約204千克（不含泵）

可選項(xiàng)

● 壓力控制器

● 1%精度的真空規(guī)

● 石英腔門

● 指示燈柱

● 條形碼閱讀器

● 工藝氣體切換器

● 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器

● 耐腐蝕性氣體的MFC

● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器

● 真空泵（油泵或干泵）