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美Nano-master兆聲晶圓清洗機(jī)SWC-4000
產(chǎn)品特點(diǎn)：
SWC-4000兆聲晶圓清洗機(jī)：Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及Z先進(jìn)的兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了**的無(wú)損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
SWC-4000兆聲晶圓清洗機(jī)應(yīng)用：
。帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片
。Ge， GaAs以及InP晶圓片清洗
。CMP處理后的晶圓片清洗
。晶圓框架上的切粒芯片清洗
。等離子刻蝕或光刻膠剝離后的清洗
。帶保護(hù)膜的分劃版清洗
。掩模版空白部位或接觸部位清洗
。X射線及極紫外掩模版清洗
。光學(xué)鏡頭清洗
。ITO涂覆的顯示面板清洗
。兆聲輔助的剝離工藝
特點(diǎn)：
。支持12"直徑的圓片或9"x9"方片
。獨(dú)立系統(tǒng)
。無(wú)損兆聲，試劑，毛刷清洗及旋轉(zhuǎn)甩干
。微處理機(jī)自動(dòng)控制
。化學(xué)試劑滴膠單元
。溶劑與酸分離排廢
。熱氮
。30"D x 26"W 的占地面積
選配項(xiàng)：
。掩模板或晶圓片夾具
。臭氧清洗
。PVA軟毛刷清洗
。高壓DI清洗
。氮?dú)怆x子發(fā)生器
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