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N-TEC全自動真空壓合機BW228-4FA
N-TEC全自動真空壓合機BW228-4FA

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型號

品牌

產(chǎn)地

臺灣

樣本

暫無
深圳市藍星宇電子科技有限公司

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N-TEC全自動真空壓合機BW228-4FA

賣點

。SECS / GEM 功能

。適用單面 / 雙面膜,制程可快速切換

。全自動貼片壓合 ( 可貼合晶圓 + 陶瓷盤 / 玻璃等材料 )

。加壓上下盤保溫功能,可對應多種膜料

機臺優(yōu)勢

搭配自動手臂,全自動快速生產(chǎn)

真空環(huán)境下進行壓合,大幅降低貼合面之殘留氣泡

Loading / Unloading 卡匣數(shù)量多

IR 加熱功能

雙屏幕方便操作

重要統(tǒng)計數(shù)據(jù)可圖表化

手動放片人性化操作

作業(yè)方式

利用機械手臂,將 6 吋晶圓從卡匣取出,經(jīng)中心對位及正反面判讀后,再放置于晶圓吸附平臺上。

步驟一:晶圓吸附平臺移至膠膜貼合位,利用壓輪及夾膜機構(gòu)夾住膠膜并滾壓移載臺移動至切割位,旋轉(zhuǎn)刀具切割膜料,利用撕膜膠帶將 6 吋晶圓上之離型膜黏起后,移載臺移至真空壓合位。

步驟二:機械手臂將晶圓載盤從卡匣取出,經(jīng)中心對位及正反面判讀后,再放置于上吸附盤。真空壓合機構(gòu)下降至預定位置,真空罩開始吸真空,到達預定真空值后開始進行 6 吋晶圓與晶圓載盤之貼合。

設備規(guī)格

設備尺寸

3320 mm × 1100 mm × 2400 mm ( W×D×H )

設備重量

2500 kg

電源AC

工作電壓:415 ( 3 phase ) / 240 ( 1 phase ) Volt. (V)

廠房安全電流:60 A

空氣源

Air Pressure 0.8 MPa

Air Tube Diameter ? 12 mm

設備應用范圍

晶圓尺寸

6″

晶粒尺寸

雷切深度

鐵環(huán)尺寸

膜料尺寸

寬 180~250 mm × 長 100 M

晶圓載盤

6″ ( ? 150 mm )、6.5″ ( ? 165 mm )、8″ ( ? 200 mm )

機臺特性

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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