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BW 216A 半自動LED晶圓貼片機(jī)
熱熔切膜
易于操作
抽換膜料極易
貼膜面高張力
熱熔切膜,不損傷鐵環(huán)
可兼作手動撕膜機(jī)用
可重復(fù)滾壓晶圓增加附著力
人性化操作接口
無氣泡殘留
將 6 吋鐵環(huán)放置于貼片機(jī)移載臺上,再將 2 吋或 4 吋晶圓放置晶圓吸附座上,啟動鐵環(huán)吸附和晶圓吸附,移載臺移動至貼膜位,膜自動下降熔切于鐵環(huán)上,移載臺于移出至放置區(qū)前,會以一貼合輪使膜和晶圓貼合,可根據(jù)該晶圓品種厚度調(diào)整貼合壓力,膜面張力亦可依客戶制程需求作調(diào)整。
貼合完成后由操作者將工作物取下。
設(shè)備尺寸 | 1000 mm × 1041 mm × 1880 mm ( W×D×H ) |
設(shè)備重量 | 500 kg |
電源AC | 1 ? 220 V ∕ 10 A |
空氣源 | 6~8 Kgf/cm2 (10 ?Tube) |
晶圓尺寸 | 2″~ 4″ |
晶粒尺寸 | 無 |
雷切深度 | 無 |
鐵環(huán)尺寸 | 6″ Flat Ring ( 內(nèi)徑 ? 194 mm ; 外徑 228 mm ;t= 1.0 ~ 1.3 mm ) |
機(jī)臺特性
暫無數(shù)據(jù)!