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技術(shù)指標(biāo)及功能
廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線(xiàn)，是6英寸，8英寸等主力I線(xiàn)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)，適用于I線(xiàn)光刻膠的曝光，操作簡(jiǎn)單，曝光精度準(zhǔn)，解析力**可達(dá)0.35UM （350NM）
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