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Nikon G-line步進(jìn)光刻機(jī)：型號：Nikon NSR-1755G7
技術(shù)指標(biāo)及功能
適用于分辨率不低于0.65μm的大規(guī)模集成電路工藝器件量產(chǎn)的G-line步進(jìn)式光刻機(jī)。
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