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這款PELCO®凹坑儀是南灣科技D500i凹坑儀的改進(jìn)版，是一種精密的機(jī)電金相研磨儀器。它可不斷的監(jiān)視和控制凹陷參數(shù)，并且在達(dá)到預(yù)先設(shè)置的樣品厚度時(shí)準(zhǔn)確地終止研磨。這種機(jī)電一體化技術(shù)的**實(shí)現(xiàn)了造坑過(guò)程的自動(dòng)化，使得造坑減薄的過(guò)程變得可重復(fù)而可靠。
PELCO凹坑儀的精確度為±1μm，造坑面積大，機(jī)械損傷小?？蓪?duì)多種不同的材料進(jìn)行造坑減薄，如硅、鎵砷化合物、鍺、藍(lán)寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導(dǎo)體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復(fù)合物。
Z偏移量 | 精確度： | 1 micron |
范圍： | 2000 microns | |
Z終止精確度 | 工具1i / 3i： | <±1 micron |
工具2i / 4i： | <±2 microns | |
工具壓力 | 范圍： | 1 - 200 grams |
1 grams 步進(jìn) | ||
平衡 | 靈敏度： | 1 grams |
范圍： | 50 grams | |
工具速度 | 100 - 600 RPM | |
樣品壓盤(pán)轉(zhuǎn)速 | 10 RPM | |
工具傳動(dòng)軸 | 0.5微米TIR | |
工具1i / 3i： | <±1 micron TIR | |
工具2i / 4i： | <±2 microns TIR | |
壓盤(pán)表面 | <0.5 micron TIR | |
外形尺寸 | 長(zhǎng)度： | 68.6cm |
寬度： | 35.6cm | |
高度： | 33cm | |
重量： | 32kg | |
電源 | 通用交流電：85~264 VAC，47~63 Hz | |
產(chǎn)品編號(hào) | 描述 |
84000 | PELCO ® TEM精密凹坑儀 |
83050 | PELCO ®視頻對(duì)齊工具 |
83031 | 用于TEM的3mm樣品的標(biāo)準(zhǔn)工具組 |
83032 | 可調(diào)節(jié)壓板組 |
83001 | 藍(lán)寶石樣品座 |
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