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原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡
在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體，先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，不可或缺的工具。
特色
和Windows®兼容的圖形用戶(hù)界面設(shè)計(jì)
快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡
點(diǎn)分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測(cè)角臺(tái)
性能優(yōu)異，可靠性高
得到市場(chǎng)驗(yàn)證的10級(jí)加速器電子槍設(shè)計(jì)
阻抗式高壓電纜設(shè)計(jì)
高檔可選附件
通用樣品桿，在日立公司的TEM， FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
可為原子分辨率的動(dòng)態(tài)研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿
備注：FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點(diǎn)分辨率) | |
| 加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
| 放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1，000～1，500，000× |
| 選區(qū)模式 | 4，000～500，000× | |
| 低倍模式 | 200～500× | |
| 電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱) |
| 燈絲交換 | 自動(dòng)升降式電子槍 | |
| 高壓電纜 | 阻抗電纜 | |
| 照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級(jí)透鏡 |
| 聚光鏡光闌 | 4孔可變 | |
| 探針尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2 μm(4級(jí)) 納米束模式：1 - 10 nm(4級(jí)) | |
| 電子束傾斜 | ±3° | |
| 成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級(jí)透鏡 |
| 聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整 利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償 聚焦優(yōu)化 | |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 | |
| 選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 | |
| 電子衍射 | 選區(qū)電子衍射 納米探針電子衍射 會(huì)聚束電子衍射 | |
| 相機(jī)長(zhǎng)度 | 250 - 3，000 mm | |
| 樣品室 | 樣品臺(tái) | 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái) |
| 樣品尺寸 | 3mmΦ | |
| 樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm， Z = ±0.3 mm 通過(guò)CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
| 樣品位置顯示 | 自動(dòng)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)跟蹤 | |
| 樣品傾斜 | α = ±15°， β = ±15° (日立雙傾樣品臺(tái)*2) | |
| 防污染 | 冷阱 | |
| 烘烤功能 | 中溫烘烤功能 | |
| 觀察室 | 熒光屏 | 主屏：110 mmΦ 聚焦屏：30 mmΦ |
| 目鏡 | 7.5× | |
| 照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
| 膠片 | 25張(2套膠片盒) | |
| 圖形用戶(hù)界面 | 操作系統(tǒng)：Windows XP® | |
| 顯示器 | 19英寸顯示器 | |
| 功能 | 數(shù)據(jù)庫(kù)，測(cè)量，圖像處理 | |
| 數(shù)碼CCD 相機(jī)*3 | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
| 有效像素 | 1，024 × 1，024 像素 | |
| A/D 分辨率 | 12位 | |
| 真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵：60 L/s |
| 鏡筒 | 渦輪分子泵：260 L/s | |
| 觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵：280 L/s 前級(jí)泵：135 L/min × 3臺(tái) | |
*1
：放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
*2
：可選件
*3
：本規(guī)格適用于可選的1，024 × 1，024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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