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日本YAMATO等離子清洗機(jī)PR200
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PR200

參考價(jià)格

面議

型號

品牌

產(chǎn)地

日本

樣本

暫無
浚和(上海)儀器有限公司

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操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機(jī)型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進(jìn)一步增加的操作的便捷性。

● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時顯示真空度,使得控制更為精確。

● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的精元、硅片等樣品,無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護(hù)

● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈,可實(shí)時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。

● 裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報(bào)警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢

●等離子清洗機(jī)清洗效果好,清洗過程中無廢液產(chǎn)生,安全環(huán)保。

●幾乎所有的材質(zhì)樣品都可以進(jìn)行等離子清洗。

●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。

●高效的特制電極,保證等離子體能夠均勻產(chǎn)生。

規(guī)格:

型號

PR200

PR301

方式

DP模式、圓柱形腔體

性能

發(fā)生器功率:

0-200W

0-300W

發(fā)生器頻率:

射頻RF13.56Mhz

發(fā)生器匹配方式:

自動匹配(Auto matching)

手動匹配(manul

構(gòu)成

腔體材質(zhì):

高硼硅玻璃

腔體內(nèi)尺寸:

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反應(yīng)氣體:

一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體。

控制方式:

半自動控制

真空度顯示:

數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時顯示腔體內(nèi)真空度。

模擬式壓力表

配管材質(zhì):

SUS不銹鋼以及特氟龍

門:

鉸鏈門

外形尺寸:

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速:

4m3/hour

電源規(guī)格:

AC220V 10A

重量:

25kg

34kg

附屬品

真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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