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YAMATO等離子清洗機(jī)PR500
YAMATO等離子清洗機(jī)PR500

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

日本

樣本

暫無
浚和(上海)儀器有限公司

會(huì)員

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第2年

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低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制

內(nèi)槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能

及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款

小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng)

用途

● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

● 小型一體化設(shè)計(jì)

規(guī)格:

型號(hào)

PR500

PR510

等離子模式

DP模式,桶形

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

自動(dòng)協(xié)調(diào)

反應(yīng)腔

石英Φ215×305mm

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(O2/CF4

控制

手動(dòng)

觸模屏自動(dòng)控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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技術(shù)文章
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