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小型桌上型高頻等離子表面處理裝置
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無(wú)需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護(hù)
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)警等安全功能。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對(duì)清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
■ 規(guī)格
型號(hào) | PDC200 | |
方式 | RIE模式、平行平板腔體 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-300W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動(dòng)匹配（Auto matching） | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 鋁制 |
腔體內(nèi)尺寸： | W400×D250×H150mm | |
反應(yīng)氣體： | 二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體。 | |
控制方式： | 全自動(dòng)控制 | |
真空度顯示： | 數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度。 | |
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門： | 鉸鏈門 | |
外形尺寸： | W540×D600×H600mm | |
真空泵抽速： | 4m3/hour | |
電源規(guī)格： | AC220V 10A | |
重量： | 約100kg | |
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