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北京樣本
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一、 產(chǎn)品應(yīng)用:
JS-1600M型磁控濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的,*簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實驗電極制作。
二、 配置及技術(shù)指標(biāo):
1. 本系統(tǒng)裝配了水冷卻磁控靶,靶面直徑為50 mm
2. 主機規(guī)格:L360mm*W300mm*H380mm
3. 靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.1mm
4. 真空樣品室: 直徑:160mm,高:120mm
5. 濺射面積: Ф50mm
6. 真空指示表: **真空度:≤ 4X10-2 mbar
7. 離子電流表: **電流:100mA
8. 定時器: *長時間:3600S
9. 微型真空氣閥: 可連接φ3mm軟管
10. 可通入氣體: 多種
11. **電壓: -1600 DCV
12. 機械泵: 2L/S
三、 產(chǎn)品特點
1. 輕便、濺射面積大
2. 可以濺射鉑、金及銀等金屬
3. 濺射效率高,可水冷降溫
暫無數(shù)據(jù)!