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壓電物鏡定位器OPP120SM采用了 CEDRAT標(biāo)準(zhǔn)放大壓電致動器和一個用于保持物鏡垂直方向精確運(yùn)動的導(dǎo)座組成。
APA實(shí)現(xiàn)了行程和硬度之間的平衡，因此非常適用于快速共焦顯微鏡。與物鏡之間的接口可以根據(jù)要求定制，并可配備渦流傳感器。
參數(shù) | 單位 | OPP120SM |
型號 | V- OPPSM120 | |
備注 | - | |
傳感器 | SG，ECS | |
主動軸 | TZ | |
**空載位移[Tz] | um | 140 |
**轉(zhuǎn)動[Rx， Ry] | urad | 25 |
電壓范圍 | V | -20…150 |
分辨率 | nm | 14 |
硬度 | N/um | 0.71 |
高度(Z 軸) | mm | 50.0 |
尺寸 | mm | 65*40 |
質(zhì)量 | g | 180 |
空載共振頻率(在致動方向)負(fù)載=50g | Hz | 600 |
負(fù)載響應(yīng)時(shí)間 | ms | 1.14 |
電容 (每個電氣接口) | uF | 3.15 |
機(jī)械接口(有效負(fù)載) | 物鏡接口 M25 *0.75(指定) | |
機(jī)械接口(框架) | 顯微鏡接口(** M25 *0.75) | |
電氣接口 | 1RG 178B/U 同軸電纜 |
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