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傾斜平移臺(tái)采用了2個(gè)APA®致動(dòng)器，可以產(chǎn)生兩種類型的運(yùn)動(dòng)：
?Z當(dāng)兩個(gè)致動(dòng)器同步致動(dòng)時(shí)，軸運(yùn)動(dòng)（平移）可達(dá)80μm
?當(dāng)兩個(gè)致動(dòng)器相反致動(dòng)時(shí)，ΘX運(yùn)動(dòng)（平移）可達(dá)+/- 0.6°
傾斜平移臺(tái)TT60SM基于APA60SM而設(shè)計(jì)，配備應(yīng)變計(jì)以消除回程差。如果只要求傾斜運(yùn)動(dòng)，僅需要一個(gè)通道。TT60SM要求使用推拉式驅(qū)動(dòng)器。
參數(shù) | 單位 | TT60SM |
型號(hào) | V- TT60SM | |
備注 | - | |
傳感器 | SG | |
主動(dòng)軸 | TZ，RX | |
**空載位移[Tz] | um | 80.0 |
角位移[Rx] | mrad(+/-) | 11.00 |
Y方向的**面外位移 | um | 25.0 |
電壓范圍 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.0 |
高度(Z 軸) | mm | 18.0 |
寬度(Y 軸) | mm | 13.0 |
長(zhǎng)度(X 軸) | mm | 25.0 |
縱向分辨率[Tz] | nm | 0.8 |
角度分辨率[Rx] | urad | 0.1 |
質(zhì)量 | g | 65 |
空載共振頻率(在致動(dòng)方向) | Hz | 3000 |
響應(yīng)時(shí)間 | ms | 0.17 |
電容 (每個(gè)電氣接口) | uF | 1.55 |
機(jī)械接口(有效負(fù)載) | 平坦表面 2.5 *8mm2 | |
機(jī)械接口(框架) | 2 M2螺紋孔 | |
電氣接口 | 4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug |
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