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概述
nEXT300D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計，使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程，*終提高抽速和壓縮比，同時真正實(shí)現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無傳感器電機(jī)，內(nèi)置驅(qū)動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種**預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能特點(diǎn)
**的轉(zhuǎn)子設(shè)計，可以實(shí)現(xiàn)**的抽速和壓縮比
維護(hù)簡便，用戶可以在短時間內(nèi)完成維護(hù)，無需復(fù)雜的工具或拆卸
設(shè)計緊湊，性能**，可以實(shí)現(xiàn)高效系統(tǒng)化
與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個真空規(guī)，而無需額外控制器
符合RoHS，并通過CSA/UL認(rèn)可
技術(shù)指標(biāo)
入口法蘭 | DN100ISO-K，DN100CF | |
出口法蘭 | KF25 | |
抽 速 | N2 | 300l/s |
He | 340l/s | |
H2 | 280l/s | |
壓 縮 比 | N2 | >1×1011 |
He | 1×106 | |
H2 | 5×104 | |
極限真空（ISO/CF，RV前級泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar | |
推薦前級泵* | RV12/nXDS10i | |
放氣口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | |
吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | |
**連續(xù)入口流量（氮?dú)猓?/span>? | ||
水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C） | 95sccm | |
空冷（環(huán)境溫度35°C） | 115sccm | |
泵轉(zhuǎn)速 | ||
標(biāo)稱轉(zhuǎn)速 | 60000rpm | |
待機(jī)轉(zhuǎn)速 | 33000~60000rpm可調(diào) （缺省42000 rpm） | |
功率范圍 | 50~200W可調(diào) （缺省160W） | |
90%轉(zhuǎn)速啟動時間 | 145s? | |
模擬輸出 | 泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度 | |
冷卻方式# | 空冷/水冷 | |
空冷環(huán)境溫度 | 5~35°C | |
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |
水溫范圍 | 10~20°C | |
入口法蘭**溫度 | 80°C | |
工作姿態(tài) | 垂直、水平（±2°） | |
噪聲（1m處） | <45dB(A) | |
**耐受磁場 | 5mT | |
推薦控制器 | TIC200渦輪儀表控制器 | |
穩(wěn)態(tài)功耗 | 20W | |
*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于該入口壓力，轉(zhuǎn)速會降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。
? 功率為160 W。
#空冷和水冷卻附件須單獨(dú)訂購。
訂貨信息
貨號 | 描述 |
B82200100 | nEXT300D渦輪分子泵：ISO100 入口法蘭 |
B82200200 | nEXT300D渦輪分子泵：CF100 入口法蘭 |
B82200101 | nEXT300D渦輪分子泵：ISO100 入口法蘭，80W |
B82200201 | |
D39722000 | TIC渦輪儀表控制器：200W、RS232 |
B58053175 | nEXT徑向風(fēng)扇 |
B58053170 | nEXT徑向風(fēng)扇，帶泵驅(qū)動接頭 |
B80000815 | nEXT 水冷組件 |
B80000812 | 油濾筒工具組件 |
B80000805 | 軸承和油濾筒工具組件 |
B80000811 | 油濾筒 |
B80000810 | 軸承和油濾筒 |
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