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產品簡介：6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內徑為6″的真空管式爐，可以在不同氣氛下，在≤5″的基片上生長多種薄膜。
產品型號 | 6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S | ||
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上 5、通風裝置：需要 | ||
主要特點 | 1、雙層殼體，配有循環(huán)風冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用雙硅膠密封圈進行密封。 3、設有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。 4、采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。 5、已通過CE認證。 | ||
技術參數(shù) | 1、電源：AC220V8KW 2、石英管：內徑?152mm，長1016mm 3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域：600mm 5、恒溫區(qū)域：200mm 6、工作溫度：≤1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、升降溫速率：≤10℃/min 8、熱電偶：雙K型 9、控溫精度：±1℃ 10、真空度：10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵） 11、鎧裝熱偶檢測口：1個 12、真空接口：KF40 | ||
產品規(guī)格 | 尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg | ||
標準配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 氧化鋁管堵 | 2個 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機 2、石英管 3、石英管堵 4、K型熱電偶（?6.35mm×915mm，用于對爐膛溫度校準） 5、真空泵 | ||
暫無數(shù)據！
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