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小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng)，輸入的兩種不同氣體通過調(diào)節(jié)壓力和流量，即可輸出一種較準確的混合性氣體，可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、小型PECVD系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號 | 小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F |
主要特點 | 1、采用SS304精密不銹鋼針閥。 2、采用1/4″管徑不銹鋼或聚四氟乙烯管。 3、無需外接電源。 |
技術參數(shù) | 1、浮子流量計：10-100ml/min，兩個 2、壓力表：-0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），三個 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：340mm×300mm×180mm；重量：6.35kg |
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