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多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以置于其上,可用于CVD系統(tǒng)及退火爐,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
產(chǎn)品型號 | 多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F |
主要特點 | 1、適用于低壓小流量,多種氣體的單一或混合連續(xù)供氣。 2、尤其方便多種氣體切換使用,而不造成大氣進入加熱管。 3、每條氣體管路均有一個高壓截止閥,有效確保安全。 4、氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,實用、簡便。 5、流量顯示準(zhǔn)確,可有效控制氣體的消耗量。 6、所有儀表及閥門均采用活接頭連接,便于維修和拆卸。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、氣路通道:三通道(可根據(jù)需要設(shè)計通道) 2、氣路流量控制器:浮子流量計 3、標(biāo)準(zhǔn)量程:10-100ml/min,16-160ml/min,25-250ml/min 4、接口:?6.35mm 5、截止閥:?6.35mm 6、不銹鋼管:外徑?6mm×內(nèi)徑?4mm 7、混氣罐:?80mm×140mm 8、壓力真空表:-0.1MPa-0.15MPa,0.01MPa/grid 9、工作環(huán)境:5℃-45℃,高純氣體 |
暫無數(shù)據(jù)!