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VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì),耐腐蝕且使用壽命長(zhǎng),可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對(duì)紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞,當(dāng)腔體需要密閉的環(huán)境時(shí)應(yīng)將膠塞堵好。腔體帶有進(jìn)氣孔,可在勻膠過(guò)程中對(duì)腔體通保護(hù)氣。樣件采用真空吸附方式進(jìn)行固定,操作簡(jiǎn)單,使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤(pán)中心位置,以減少偏心帶來(lái)的震動(dòng),避免造成飛片。根據(jù)樣件的大小可以選擇不同規(guī)格的吸盤(pán),吸盤(pán)更換簡(jiǎn)單方便。本機(jī)使用精密直流無(wú)刷電機(jī),啟動(dòng)快、速度穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater | ||
主要特點(diǎn) | 1、采用真空吸盤(pán)固定樣件,樣件固定牢固且取放簡(jiǎn)單方便;真空吸盤(pán)大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 2、該機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,紫外光的強(qiáng)度可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。 3、本機(jī)上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有注液孔塞,當(dāng)腔體需要密閉環(huán)境時(shí)可使用該孔塞將孔密閉。 4、該機(jī)帶有保護(hù)氣接孔,可對(duì)腔體通保護(hù)氣。 2、電機(jī)部分、紫外燈光控制部分分別使用獨(dú)立的電源進(jìn)行控制。電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)采用單板機(jī)+液晶顯示屏進(jìn)行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉(zhuǎn)數(shù)在500-10000RPM內(nèi)可調(diào);紫光燈采用抗干擾性強(qiáng)的PLC控制器進(jìn)行控制。 3、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要,可分別進(jìn)行時(shí)間1、轉(zhuǎn)速1、時(shí)間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后,涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時(shí)間1時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開(kāi)。當(dāng)時(shí)間1結(jié)束后,涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間2階段運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。 3、紫光燈真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 4、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。 5、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220/110V 50/60Hz 2、電機(jī)功率: 350W/24V 3、速度范圍:500-10000rpm 4、可儲(chǔ)存1組程序,程序包含2個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm s—2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍:0-600s 5、吸盤(pán)規(guī)格:φ19mm φ60mm 6、保護(hù)氣進(jìn)氣孔規(guī)格:φ8㎜ 7、真空氣孔規(guī)格:φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍:8-30W 9、紫光燈時(shí)間設(shè)置范圍:1-800S 10、外形尺寸:450×280×340mm 11、重量:20Kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(pán) | 2件(φ19 mm和φ60 mm) |
2 | 中心定位器 | 1件 | |
3 | 無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) | |
可選配件 | 進(jìn)口移液器 國(guó)產(chǎn)移液槍 真空吸盤(pán) |
暫無(wú)數(shù)據(jù)!