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產(chǎn)品型號

1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長）GSL-1100X-III-D11-8

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<70℃。內(nèi)爐膛采用高純度氧化鋁材料，可以**程度的減少能量的損失。

2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用硅膠密封圈進行密封。

3、采用三個PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、加熱前需將石英管堵放入爐管，防止熱量以熱輻射的形式散失。

5、使用內(nèi)管進行薄膜生長可放置**8"的基片。

6、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：單相AC220V 50Hz/60Hz 8KW（需50A的空氣開關(guān)）

2、石英管：外管外徑?279mm，內(nèi)徑?269mm，長1300mm，兩端打開，可連接法蘭

內(nèi)管外徑?216mm，內(nèi)徑?206mm，長750mm，一端封閉，一端連接氣體出入口

3、加熱元件：NiCrAl電阻絲

4、加熱區(qū)域：長900mm

5、溫區(qū)：3個，各300mm長

6、恒溫區(qū)域：500mm（三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度）

7、工作溫度：**1100℃（<1h），連續(xù)工作200℃-1000℃

8、**升降溫速率：10℃/min

9、熱電偶：3個，K型

10、控溫精度：±1℃

11、真空度：10^-2torr（機械泵）

12、法蘭：左側(cè)法蘭包括化學(xué)氣相淀積進氣口和冷卻氣體進出口，右側(cè)法蘭設(shè)有KF-40真空接口和真空閥門

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm，包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm

重量：200kg

可選配件

1、石英管堵

2、PC控溫軟件

3、KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭