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生長(zhǎng)納米線(xiàn)CVD爐OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專(zhuān)為生長(zhǎng)各種納米線(xiàn)而設(shè)計(jì),基片**3″。在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器,可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱后進(jìn)入CVD爐進(jìn)行納米線(xiàn)的生長(zhǎng)。其可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單。
產(chǎn)品型號(hào) | 生長(zhǎng)納米線(xiàn)CVD爐OTF-1200X-4-NW |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開(kāi)關(guān)),必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭) 4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1、由OTF-1200X-4單溫區(qū)爐演變而來(lái)的緊湊型CVD爐。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 3、帶樣品支架的右法蘭是滑動(dòng)的,方便樣品的快速取放。 4、左側(cè)的小加熱器可對(duì)輸入CVD爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱,不銹鋼加熱腔外徑?30mm、長(zhǎng)150mm,**工作溫度600℃。 5、左邊法蘭(在加熱器與CVD爐之間)裝有4個(gè)1/4"卡套連結(jié)的通氣管,具有密封和氣體通道的作用。 6、PID自整定數(shù)字控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序。 7、選配相關(guān)軟件可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控溫。 8、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、額定電壓:?jiǎn)蜗?span>AC220V 50Hz/60Hz 2、額定功率:3KW(需20A的空氣開(kāi)關(guān)) 3、石英管:外管外徑?110mm,內(nèi)徑?102mm,長(zhǎng)381mm 4、加熱區(qū)域:CVD爐400mm,加熱器150mm, 5、工作溫度:CVD爐**1100℃(<2h),連續(xù)工作200℃-1000℃,**升降溫速率10℃/min;加熱器連續(xù)工作0-500℃,**升降溫速率10℃/min 6、控溫精度:±1℃ 7、熱電偶:K型 8、右法蘭:一個(gè)3"石英樣品支架,與石英擋板、法蘭連成一體,設(shè)有KF25真空快接口,以及水冷接口(可選配水 冷機(jī),避免O型圈融化) 9、左法蘭:有2個(gè)獨(dú)立1/4″口,可單獨(dú)將任何氣體通入爐內(nèi),一路1/4"口將預(yù)熱氣體通入CVD爐,一路1/4″口將不加 熱的氣體通入爐內(nèi),并通過(guò)爐內(nèi)的T型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1200mm×450mm×510mm;重量:100kg |
可選配件 | 1、冷水機(jī) 2、控溫軟件 |
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