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產(chǎn)品型號(hào)

2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開(kāi)關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)系統(tǒng)。

3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

4、配有防腐型真空計(jì)，當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類(lèi)的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8×10E-5

torr。

5、迷你型浮子流量計(jì)精度為4%。

6、配有雙級(jí)旋片機(jī)械泵（2L/s），可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到10E-2torr。

技術(shù)參數(shù)

　感應(yīng)加熱器

1、工作電壓：三相AC 380V 50Hz（需60A空氣開(kāi)關(guān)）

2、工作電流：7Amps-70Amps（需100A空氣開(kāi)關(guān)）

3、功率：**振蕩功率30KW，**輸入功率15KW

4、輸出頻率：30KHz-110KHz

5、占空比：80%

6、感應(yīng)線圈：內(nèi)徑?220 mm，高65 mm

7、空氣冷卻：后風(fēng)扇

　溫度控制器及熱電偶

1、工作電壓：AC208V-240V 單相

2、控溫精度：±3℃

3、熱電偶：C型，外徑?1/4"，長(zhǎng)10"

4、連續(xù)工作溫度范圍：1000℃-2000℃

5、**升溫速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

　石墨坩堝（易耗件）

1、高純石墨坩堝：外徑?114mm，內(nèi)徑?100mm，高142mm

2、**容量：樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2，**質(zhì)量為4kg（以鐵標(biāo)定）

3、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）-高

　　　　　　　溫氈，總厚度為32mm

　石英管和密封法蘭

1、石英管：兩端開(kāi)口，外徑?216mm，內(nèi)徑?208mm，長(zhǎng)500mm

2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計(jì)、不銹鋼截止閥，設(shè)有1個(gè)1/4"的鎧裝接口（可插入熱電

　　　　　　　　偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）

3、底部法蘭：設(shè)有KF25接口，可通過(guò)波紋管與真空泵相連接

　水冷機(jī)

1、溫度：5℃-30℃

2、水流速：>16L/min

3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作

4、水壓：≥0.1MPa

5、流量：≥5L/min

（建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到**的冷卻效果）

　真空泵

　工作電壓：AC208V-240V單相

　移動(dòng)爐架

　尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動(dòng)感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管

產(chǎn)品規(guī)格

注意事項(xiàng)

　操作前，必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū)，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流

　量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過(guò)安

　全值，會(huì)引起石英管開(kāi)裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

　本機(jī)可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。