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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：100W小型手動(dòng)匹配型射頻電源RF-100-LD頻率為13.56MHz，專門與本司1"的磁控濺射頭配用，可搭建成一套較廉價(jià)的濺射鍍膜系統(tǒng)，用于制作非導(dǎo)電薄膜。
產(chǎn)品型號(hào) | 100W小型手動(dòng)匹配型射頻電源RF-100-LD |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率：5W-100W（可調(diào)），穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配：手動(dòng)匹配 5、冷卻：風(fēng)冷 6、噪音：<50dB |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：390mm×260mm×105mm |
可選配件 | 1、1"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時(shí)購(gòu)買100W射頻發(fā)射器和1"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射 頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。 |
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