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產(chǎn)品型號

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。

2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。

4、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵）

2、輸出功率：1600VDC 50mA（**電流）

3、石英罩：?160mm×120mm

4、樣品臺：?50mm（可選購加熱型樣品臺，**溫度可到500℃；*長濺射時間不可超過5min）

5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

6、進氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量

7、靶材：尺寸直徑?47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導體、一些輕

　　 金屬、Al、Zn、C等

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg

可選配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不銹鋼波紋管（600mm）

3、旋片式真空泵（120L/M）

4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

5、加熱型樣品臺