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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片**尺寸2″，放置樣品的直徑為?50mm，加熱溫度達(dá)500℃。本機(jī)可濺射金、銀、銅三種靶材，并采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（**電流） 3、石英罩：?160mm×120mm 4、樣品臺(tái)：?50mm（可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)，**溫度可到500℃；*長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材：尺寸直徑?47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕 金屬、Al、Zn、C等 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg |
可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) |
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