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產品型號

GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×00mm，承重50kg以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認證。

技術參數

1、靶：?45mm

2、真空室：?160mm×120mm

3、**真空度：≤4×10^-2mbar

4、靶位：3個

5、**電流：50mA

6、可設定*長時間：900s

7、微型真空氣閥：連接?3mm軟管

8、**電壓：1600V DC

9、機械泵：2L/s

標準配件

1

金靶材

1個

2

銅靶材

1個

3

鋁靶材

1個

4

進氣針閥

1個

5

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材