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GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有機物。本機設(shè)有4個蒸鍍加熱舟，每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍，加熱舟上方有一個可旋轉(zhuǎn)擋板，當(dāng)其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住，以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設(shè)備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極，在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化，進而損壞電極。該機采用金屬腔室，具有極高的真空度，真空度可達到5.0×10-7torr，樣品臺可對樣品進行加熱，加熱溫度為室溫-500℃，是進行高真空蒸發(fā)鍍膜的**設(shè)備。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V50Hz，必須有良好接地 3、工作臺：落地式，占地面積2m2以上。 4、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點 | 1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，提高效率）、1個CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、6個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，1個安裝2芯電極，1個安裝膜厚儀） 3個備用。 4、在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。 5、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，膜厚測量分辨率（鋁）為0.1?。 7、可使用循環(huán)水冷機。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入：單相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2、蒸發(fā)輸出：電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔：?300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、觀察窗：?100mm，采用專用密封圈密封 5、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s 6、真空度：8.0x10-4Pa 7、極限真空8.0x10-5Pa 8、漏率：6.7×10-8Pa·L/S 9、樣品臺：φ120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距：150-210mm 11、冷卻水需量：15L/min |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg |
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