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GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有機(jī)物。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍，加熱舟上方有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)擋板，當(dāng)其中一個(gè)加熱舟進(jìn)行蒸鍍時(shí)擋板將其它三個(gè)鎢舟遮住，以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿(mǎn)足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性?xún)r(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個(gè)水冷電極，在工作過(guò)程中可有效保護(hù)電極溫度不會(huì)因溫度過(guò)高而熔化，進(jìn)而損壞電極。該機(jī)采用金屬腔室，具有極高的真空度，真空度可達(dá)到5.0×10-7torr，樣品臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行加熱，加熱溫度為室溫-500℃，是進(jìn)行高真空蒸發(fā)鍍膜的**設(shè)備。
產(chǎn)品名稱(chēng) | GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V50Hz，必須有良好接地 3、工作臺(tái)：落地式，占地面積2m2以上。 4、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。 2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，提高效率）、1個(gè)CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、6個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，1個(gè)安裝2芯電極，1個(gè)安裝膜厚儀） 3個(gè)備用。 4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。 5、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。 6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，膜厚測(cè)量分辨率（鋁）為0.1?。 7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入：?jiǎn)蜗郃C220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2、蒸發(fā)輸出：電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔：?300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、觀察窗：?100mm，采用專(zhuān)用密封圈密封 5、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s 6、真空度：8.0x10-4Pa 7、極限真空8.0x10-5Pa 8、漏率：6.7×10-8Pa·L/S 9、樣品臺(tái)：φ120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距：150-210mm 11、冷卻水需量：15L/min |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg |
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